黄昆年过古稀时仍坚持在第一线工作，甚至星期天，节假日，他还经常在家中伏案工作。1988年初，黄昆与朱邦芬正在推敲超晶格中的光学声子模型。大年初二，朱邦芬上黄昆家拜年。黄昆看到他来，十分高兴，马上把他这几天在家中做的一些计算拿出来讨论。
严谨和追求完美成为黄昆治学的又一特征。对于自己所研究问题的每一环节，黄昆都要反复推敲，有时经过“否定之否定”的几次方，才得到一个正确的结论。黄昆常说他的十个想法中有九个靠不住，为此他总是仔细推敲。黄昆不赞成用过于烦琐的数学方法来研究物理问题，然而在需要数学推导及计算时，他又十分仔细，反复多遍地来回检验。黄昆与他的学生一起做的工作，通常在他的学生做数值计算的同时，黄昆也用简化模型在家中一台64K微机或计算器上做平行计算，主要目的是在亲自动手的计算中能进一步深入思考问题，但也是为了确保计算结果的可靠性。即使在论文文字表达上，黄昆也字斟句酌，数易其稿，力求完美。他不仅自己身体力行，也严格要求中青年科研人员，对他们撰写的英文论文，往往修改多次，以致有时候密密麻麻的修改意见掩盖了原稿。笔者写的英文论文请他改，他总是十分认真地推敲，注意上下文之间的逻辑关系。他经常批评笔者写的英文论文没头没脑，上句与下句的逻辑推理是跳跃式的，不够严密。正是这种严谨的精神，使黄昆的研究成果经得起时间的考验。“黄昆一生唯谨慎”，他每次公开讲话，作报告，都事先写好稿子，并试讲几次。越是重要场合，他准备的提前量越大，试讲次数越多。与李爱扶相反，黄昆在许多方面是个“悲观主义者”。通常他宁可把事情想得更复杂一些，多做几手准备，而不相信“天上掉馅饼”。
黄昆在学术上对自己的论著力求完美。他觉得自己的一些意思不大的著作往往被他束之高阁。他强调，研究工作不能安于修修补补，以数量取胜，而要真正在科学上解决问题。他主张，每篇论文都要实实在在地解决一个或几个物理问题。他非常不赞成有的人文章发表了许多篇，却没有真正解决一个问题。黄昆回忆说，刚回国到北大时，他在英国六年发表论文十几篇，还基本上完成一本专著，这在当时被认为是异乎寻常的高产。他认为，一个理论物理学家，必须要全力以赴，一年才能完成二到三项研究，自己在英国六年的研究，是尽了全力的。目前，国内许多人一年完成十几乃至几十篇论文，他一方面对这些人的干劲很佩服，另一方面，对这些论文学术上的真正的含金量，存有疑问。在黄昆的影响下，黄昆的弟子们大都学风严谨，很少有人为了追求发表论文的数目而把学术论文“注水”的。
黄昆做研究，喜欢事必躬亲。国内流行一种说法，科学家有多种类型：有的人是帅才，有战略眼光，能组织大兵团作战；有的人是将才，能带领一批人攻克难关；有的人是兵，只能自己一个人或一个小组，在第一线冲锋陷阵。黄昆从来认为自己只是一个兵，不是什么科学研究的将帅之才。他觉得，如果自己不深人思考一个具体的科学问题，如果不亲自动手算点东西，脑筋就开动不起来，很难做出什么有创新性的成果，也根本无法看清学科的发展趋势。黄昆在1947年给杨振宁的一封长信中，曾写到他在布列斯托尔大学做科学研究过程中体会最深的一点：
最和你感想相同的是，我也发现做研究多一半的时间是做routine(日常事务)。我在有一天似乎突然觉悟，理论物理和实验物理原来如此之平行。以前总以为做实验的，自然许多时间都是在装这样，装那样，但是理论物理则全倚绝顶聪明。那天才突然体会做理论工作一样的得把大半时间用在workoutdetail(解决细节问题)上。许多思想还是靠在一面workoutdetail(解决细节问题)时慢慢dchen(丰富)起来。
他无法想像，自己看看文献，出席一些学术会议，就能把握科研的大方向。他也反对整天在讨论发展方向，而不是实实在在地解决具体的科学技术问题。科学史表明，与技术发展不同，大多数科学上的重大突破，是整天泡在实验室里和整天苦思冥想的研究人员依靠科学直觉和洞察力而“偶然”发现的，很少是靠事先规划而实现的。X射线、放
射性、超导现象、量子霍尔效应等一大批物理效应的发现，量子力学、相对论等一批理论的建立，都不是“帅才”们规划出来的，而是苦干的“兵”加上一点机遇，干出来的。
惊悉我的老师黄昆先生不幸病逝，我非常悲痛。相隔万里，无法见恩师最后一面，只好写一点纪念文字，略表我心。
抗日战争后期，黄昆先生在西南联大读研究生，就是与杨振宁先生齐名的才子。他们拿到硕士学位后，抗日战争胜利了。杨振宁先生来到美国，从事量子场论和粒子物理学的研究；黄昆先生去了英国，在固体物理学领域从事理论研究工作。黄昆先生在英国后期投奔到玻恩门下。玻恩是德国人，当时在英国工作，他创立了晶格动力学的理论和学派，是诺贝尔物理学奖获得者。黄昆先生在玻恩的团队里，对于晶格动力学理论做出过杰出的贡献。物理学知识告诉我们，在各种晶体中原子有序排列形成晶格，在晶格中原子振动形成波，有声波也有光学频率的波，有纵波也有横波，统称之为晶格波。黄昆先生的一项工作是，建立了晶格波中纵波光频支的频率与横波光频支的频率之间的关系式，并预言横波光频波与外来电磁波耦合对晶体介电性的贡献，后来为实验所证实。晶格波中的声波，按照量子理论的波粒二象性，其粒子性称为声子。黄昆先生的另一项工作，就是建立了多声子跃迁理论。
正当黄昆先生的学术生涯处于快速上升的时刻，新中国成立了，他毅然回归中国，决心献身于中国的教育和科学事业。二十世纪五十年代初期，他担任北京大学物理系教授，与虞福春教授一起，奠定了北大普通物理学的教学根基。北大的普通物理教学，就是在黄、虞二位教授奠定的基础上发展起来的，对于中国高校普物教学产生了深远影响。在此同时，黄昆先生执笔完成了英文本《晶格动力学理论》这部巨著，于1954年以玻恩、黄昆共同署名在伦敦出版。实事求是的说，晶格动力学是玻恩创立，而这部系统的理论著作是由黄昆执笔，并且对理论有所发展，虽经玻恩审阅，却很少修改。这部著作，成为固体物理学（现在扩展为凝聚态物理学）的经典，再版多次，影响很大。遗憾的是，中文翻译本直到九十年代初才由北大出版社出版。1955年，中国科学院成立学部，黄昆先生被选为第一批学部委员，并且是第一批中最年轻的学部委员。
当半导体技术在世界上初露锋芒的时候，中国就在北大成立了以黄昆教授为主任，谢希德教授为副主任的半导体培训中心，抽调北大、复旦、南大等五校的青年教师和高年级学生来学习。这批人成为中国半导体事业的第一批种子，在全国开花结果。1958年，在黄昆教授的带领下，北大办起了半导体工厂，是北大创办的第一所新兴技术的工厂。校办工厂这件事，受中国政治运动的影响而反反复复，北大的半导体厂没有坚持下来。但是，在中国计划经济的体制下，国营大企业往往对世界发展的新技术缺乏敏感和难以转变，科研院所和高等学校最先得到新技术的信息，从这里才能发展出中国的新技术产业就是必然的现象。八十年代以后成长起来的联想集团和方正集团就是实例。应该说中共的某些领导人认识到黄昆是一位难得的人才，对他寄以很大的希望，北大校长陆平就曾经说过，好人、好枪给黄昆。但是科学研究不同于打仗，有其自身的规律，尤其是黄昆先生擅长的理论工作，更不是群众运动的方式能够做好的。何况当年是以阶级斗争为纲的时代，文化大革命一来，陆平首先就被打倒，黄昆还能有好日子过？十多年的光阴就这样白白的浪费掉了，直到文革结束以后，邓小平指令将黄昆先生调到中国科学院半导体所任所长，才有了他的第二春。黄昆先生在半导体所的重点工作是培训年轻的科研人员，他开班上课，为年轻人打好理论基础，以跟上世界学术的前进步伐。然后，他与几位年轻人一起，研究凝聚态物理理论的前沿课题，并且做出了一系列的成果。
我第一次见到黄昆先生，是在我考进北大物理系召开的迎新会上。系主任致欢迎词以后，代表教授们讲话的就是黄昆先生。二十世纪五十年代，中国人穿的都是中山装，而黄昆教授那天穿的却是西服，是一位洋派教授的模样。黄昆先生讲话平稳，语言精练，行动潇洒，展现了一位大师的气概。那时候黄昆教授只有三十多岁，对于我们刚刚迈进大学校门的学子，亲眼面对年青有为的教授，是多麽大的鼓励啊！1958年学校办工厂，黄昆先生带头参加劳动，又表现出他平民化的一面。特别令我难忘的是1960年，黄昆教授作为物理系副主任，带领我们两个学生干部去长辛店二七机车车辆厂，联系学生下厂参加生产劳动的事情。当时大学生下厂劳动，要求与工人同吃、同住、同劳动。为了实际了解吃住情况，黄昆先生和我们两个学生一起，在该厂工人集体宿舍住了一夜。那是双层的通铺，一个人挨着一个人睡，住的非常拥挤，只因有许多工人三班倒，看起来有许多空位。工厂领导和我们两个学生都劝说黄昆教授不要住这里，但是黄昆教授却没有丝毫勉强的在那里住了一晚。文化大革命期间，许许多多留洋的知识分子住过牛棚，没有什麽希奇，但那是被迫的；而这次黄昆教授住工人的双层通铺，却是自觉的行动，表现了他没有娇气、肯于吃苦的精神。文化大革命后期，北大从数学系、物理系、无线电系抽调一批教员，在昌平山区的分校，成立了计算机系和计算机工厂，黄昆先生也在其中。他们平时要住在分校，只有周末才能回自己的家，学校有班车接送。有一天我有事要去昌平分校，早上去乘班车，快到开车的时间，看见黄昆先生匆匆赶来。在乘车的路上，黄昆先生拿出一个馒头吃。我问：“您还没有吃早饭？”他笑笑答道：“昨天睡晚了，今早起迟来不及了。”我当时就感到一阵难过。我知道，他在分校要教书还要参加生产劳动，没有时间做科学研究。但是，他为了掌握国外科学技术的发展情况，只能利用周末回家的时间阅读国外文献，就顾不得吃饭睡觉了。文革以后，他在半导体所能够很快的追上科学前沿，就是靠他在文革期间无数个周末，用少吃、少睡做的学术上的积累。
物理学界许多人为黄昆先生惋惜，认为五十年代初他若不回国，继续留在英国做研究工作，凭借他在学术上飞快上升的势头，很有机会做出能够获得诺贝尔奖的科学成果。但是黄昆先生终其一生没有说过一句后悔的话，因为他下决心回国就从来没有考虑自己的得失。他回国的第一件事就是在北大物理系教普通物理。那时，他曾经对自己的助教说过，我不可能成为一流科学家，但是我在英国学习和工作的经历，使我知道了如何培养一流科学家。由此可见，黄昆先生的目标，不是自己成为一流科学家，而是培养一流科学家。也许有人会怀疑黄昆先生的这种想法，你不是一流科学家，怎麽能够培养出一流科学家呢？这是形而上学的逻辑。请看世界历史上那些最杰出的科学家，伽利略、牛顿、麦克斯韦、爱因斯坦，并没有听说他们有什麽一流科学家导师，但是却离不开优良的科学环境。中国著名物理学家吴大猷先生，自己没有世界一流的科学成果，他却带出了杨振宁和李政道这样的世界一流的科学家。黄昆先生认为一流科学家必须有扎实的根底，所以直接从事普通物理的教学，并且在《物理通报》上发表了一系列关于普通物理教学的文章。黄昆先生的第二项工作，就是当半导体刚在世界学术界露出苗头的时候，他就办了半导体培训班，并积极推动建立半导体工厂，希望创出一条适合中国国情的发展高新技术的道路。中国的半导体事业，起步很早，因为政治运动的干扰和体制的限制，中国的半导体事业没有能够进入世界先进行列，黄昆先生无可奈何。但是，黄昆先生培养的半导体专业的学生，遍布中国各地，有些人还走出国外。黄昆先生在北大物理系，创建了半导体教研室和固体能谱教研室，直接培养了一批研究生和更多的年青教师，他们对于中国的科学技术和教育事业做出了重要贡献，有些人被选为中国科学院院士。
黄昆先生在北大物理系开创了固体物理学的课程，我有幸成为黄昆先生教授的第一个班级的学生。固体物理学研究，固体中原子振动形成的晶格波的形态和规律，固体中电子运动的形态和规律，以及他们对于固体宏观物理性质所起的作用。学习固体物理学，除了要有普通物理的概念和晶体的知识外，还必需懂得统计物理学和量子力学，是物理学中现代的、高级的课程，在国外大学是研究生的课程。北大物理系当时已改为六年制，培养的目标是相当于国外硕士研究生的水平。我们是在五年级时，黄昆先生教授了两个学期。因为是第一次开课，没有现成的书，黄昆先生是一边编写讲义，一边上课。讲义的文字铅印出来了，插图来不及制版，只好油印成单页，学生们再各自剪下来贴到插图的位置。黄昆先生的固体物理学，后来正式出版，但是我一直保留那份讲义至今，因为它见证了我是黄昆先生直接授业的弟子。黄昆先生回国，的的确确影响了他的科学研究工作，而受惠的是我们这些授业弟子。我们对他的感激之情，无以言表。
我一生的大部分时间是在北京大学渡过的，我接触过许多老一辈知识分子，深切的感到他们的学术造诣比我们晚辈深厚，他们的道德人品比我们晚辈高尚。在这些先辈教授中间，我最崇敬的就是黄昆先生。他的学术成就，在全中国是属于最尖端的层次；他的道德人品，几乎是无人能及。黄昆先生少言寡语，从没有吹嘘过自己一句话，问他的学术成就，回答总是没什麽。他生活极为简朴，担任所长不要专车，不搬进新盖的专家楼，宁愿一直住在五十年代的老公寓单元房。因为黄昆先生名声在外，在回国以后的几十年，常常处在各种风浪的顶端，有时捧的很高，有时贬得很低，他都是泰然处之，既不因走红而得意，也不因受贬而埋怨。他对自己要求极严，真正做到学而不厌；他对晚辈以诚相待，完全做到诲人不倦。不熟悉的人，会觉得他待人冷淡，没有人情味；和他相处越久的人，才越发感到它的一颗赤子之心，为人很是单纯。尤其是我们这些授业的学生，对他无不敬仰。
在写怀念黄昆先生的文字时，我必须谈一谈他的夫人。他的夫人是英国人，中文名字叫李爱扶，和黄先生一起回中国后，相伴终生，走过了半个多世纪。我认为李爱扶女士是一位伟大的女性，她既有欧洲人的直爽性格，又有中国妇女相夫教子的传统美德。李爱扶女士在北大物理系工作很长一段时间，她对工作极端负责、一丝不苟的作风，她对朋友诚恳、助人的精神，都赢得了物理系同仁的敬重。她对黄昆先生的尊重，她的大度，令人赞佩不已。想一想看，黄昆先生决定不搬进舒适的专家楼，仍然住旧居，换另外一位太太会答应吗？学校把文革期间扣发黄昆的一大部分工资归还给他时，黄昆先生一文没要全部交了党费，作为一个非党员的夫人，李爱扶女士完全尊重丈夫的选择而没有异议，换另外一位太太做得到吗？为了住房和财产，夫人和子女炒翻天的事还少吗？朋友之间反目成仇的情形不多吗？对比一下就知道，黄昆先生和他的夫人李爱扶女士的人格是多麽高尚了。
黄昆先生调到半导体所后，我就很少见到他了。1994年我来美国，就再也没有见到过黄昆先生。他晚年的情况，我不太知道，文字如有纰漏，只能请大家原谅。
黄昆先生，我们永远怀念您！
(纽约)
解说：这是以北大为首的五校联合半导体培训班毕业照，他们后来成为中国半导体行业的骨干力量，黄昆将他和谢希德在这个培训班上的讲稿和论文进行整理，在1958年完成了一本专著，《半导体物理学》。
张树霖：你看这是1958年的书，它是这个时候讲的半导体物理学，这个，这个是当年的。我们国家那些，现在那些好多院士，都是读这个书出来的，这本书说实在话，当年在国际上写成这样的好像还没有。
解说：这本《半导体物理学》，是中国半导体领域最早的一本专著，黄昆一直想在中国建立起固体物理研究的阵地，这本书和他在五校联合培训班所做的一切，一点一点铺就了通向这个目标的路。
张树霖：60年代，一个国家重点项目一共32项，包括像导弹、原子弹，这样一些重要的一些事情，但是32项，第32项是基础研究。
朱邦芬：他跟谢希德一起就向国家建议，要开展固体能谱的研究，就原来他比较偏，一开始主要是培养人，是教学为主，后来慢慢觉得就是说你不光是教学，还要开展研究。
解说：1963年，北京大学成立了固体能谱研究室和实验室，黄昆担任主任。
张树霖：我本人有幸，那时候把我调到那里去，当那个项目的行政秘书，我有一次就给他提出意见来了。我说领导让我来做这个事，我说你那些行政的事、跑腿的事就我来吧，我说你可以做的。但是黄先生他怎么说，他说既然是这样一个把固体能谱这个基地建起来呀，它比我个人写一两篇文章，对国家的贡献还大。
解说：黄昆兴奋不已，固体能谱研究室的成立，让他的固体物理学在中国终于有了自己的阵地，可是这个阵地远没有他想像的那么坚固。1966年还是在颐和园路5号，一场风暴骤然降临，昔日平静的校园成了风暴的中心。
朱邦芬：工宣队和军宣队进驻北大以后，清理阶级队伍，当时他们硬说黄昆参加了国民党，说他隐瞒了历史事实，就把他隔离审查，不让他回家了，相当于是劳改。那段时间，当然黄昆他非常不高兴了，回到家里跟谁也不说话，当时在挨整的时候，所以那种时候他们很担心黄昆会不会想不开呀什么，因为文革当中自杀的人还是不少。
解说：这场浩劫终止了黄昆所有的科研工作，1969年，他被安排到北大200号接受劳动改造，所谓北大200号是一个半导体生产基地，那时候他焊过塑料通风管，做过晶体管集成电路，黄昆不知道究竟何时才能继续他的研究。
中国科学院半导体研究所
男：请进，请进，这个办公室现在还是跟黄先生当年，就是用的时候差不多。
解说：这是黄昆生前的办公室，1977年黄昆受命担任中国科学院半导体研究所所长，这次转折源于1975年，黄昆受邀在中国科学院半导体研究所所做的学术报告。
朱邦芬：当时邓小平的女儿邓楠是在半导体所工作，通过邓楠然后邓小平知道黄昆这件事了，所以1975年9月份，邓小平就讲到黄昆这个事情，说有的科学家学非所用，像他学部委员这样的人，应该让他发挥作用。说如果北大不要的话，科学院要，讲完没多久就批邓了，北大叫黄昆写文章要批判邓小平，说邓小平这番话是挑拨党跟知识分子关系。
解说：这篇批判邓小平的文章，由当时的梁效写作组捉刀，以黄昆的名义公开。两年后恢复工作的邓小平，在主持召开的全国科学和教育工作座谈会上，再次谈起了黄昆和这篇文章。
朱邦芬：在那次会上呢，我是听北大当时有个副校长叫沈克奇，沈克奇参加了那次座谈会，那次会上邓小平还问了黄昆的情况，问黄昆现在在哪，然后沈克奇说黄昆还在北大200号。结果邓小平说了，意思说了，黄昆当时写了文章批判邓小平，他说这个事情不能怪黄昆，当时我自己还批我自己呢。我以前说的话呢，还是有效的，应该请黄昆到科学院去当所长，给他配党委书记，配行政副所长。
解说：当时心里还对那篇署名文章内疚的黄昆，听到了邓小平的这句话，虽然有些犹豫，但是接下调令上任了，那一年黄昆已经58岁。
陈娓兮：他穿了一个他儿子的军装，穿了一个旅游鞋吧，就普通的球鞋，然后就去报到去了，门卫就给他拦住了，你是谁呀，你找谁呀？他说我是来报到的呀，他说我找王守武。王守武是他们原来的那个所长，就一个老的研究员嘛，结果后来打电话，王守武赶紧到门口来迎接，你们怎么不认识黄昆啊，黄昆从来没有打扮成西装革履的。
清华大学微电子学研究所
简介
负责人情况
全所人数及职称、年龄分类
年经费总收入及来源
现有设备资产情况
主要研究方向
研究所发展情况简介
一、简介
清华大学微电子学研究所经过多年建设，已经在基础性研究、应用技术研究、先进产品的开发和适用技术、产品的工业化转移等方面互相衔接，形成较为完整的科研体系，为科研机制的进一步改革打下了良好的基础。所领导班子思想解放，努力贯彻“科教兴国”的指导方针，积极探索改革经验，有决心把研究所建成一个充满活力，具有开放流动，竞争机制的基础性研究基地，为推动我国微电子技术的发展作出贡献。
二、负责人情况
职务
姓名
职称
年龄
所 长
钱佩信
研究员
59岁
副所长
贾松良
研究员
58岁
陈弘毅
研究员
53岁
顾祖毅
教 授
58岁
王水弟
副教授
49岁
三、全所人数及职称、年龄分类
全所人数
126人
高级职称
53人
中级职称
26人
初级职称
23人
技术工人
24人
科技人员中
35岁以下42人
占41％
35～50岁21人
占21％
50岁以上39人
占38％
其中从事基础性研究人员85人
占83％
博士生导师:
李志坚、钱佩信、杨之廉、石秉学、李瑞伟、陈弘毅、周润德
教 授:
李志坚、钱佩信、杨之廉、石秉学、李瑞伟、陈弘毅、周润德
周育诚、贾松良
学术带头人（科研方向）：
李志坚：
深亚微米ＵＬＳＩ器件物理;
微电子机械系统;
神经源网络和模糊逻辑在微硅系统（硅系统集成）中的应用;
钱佩信：
绝缘介质层上的硅材料研究;
三维集成电路研究;
激光退火，快速热处理;
GeSi/Si红外探测器和HBT;
刘理天：
微机系统（ＭＥＭＳ），集成传感器及新型半导体器件的原
理与结构，工艺与技术，模型与模拟
朱 钧：
不挥发存储器电路制造与设计技术;
新型半导体器件与器件物理研究;
陈培毅：
深亚微米半导体器件，高速，微波及光电子器件，新型半导
体材料制备，特性及应用
李瑞伟：
深亚微米工艺研究;
超大规模集成电路制造工艺的评估与诊断及几算机辅助分析;
亚微米和深亚微米器件物理研究包括热电子退变效应研究和
特殊性能要求的研究;
超大规模集成电路的防静电损伤研究;
蒋 志：
从事2.0-um,1.5-um,1.0-um ＣＭＯＳ ＶＬＳＩ成套工艺技术
的开发及超薄氧化层等研究工作；
0.8-0.5umＶＬＳＩ成套工艺技术开发， 工艺模拟（ＴＣＡＤ）
和0.35um深亚微米器件工艺技术的研究；
王 勇：
从事2.0-,1.5-,1.0-umＣＭＯＳ ＶＬＳＩ成套工艺技术开
发及离子注入方面的研究工作；
亚微米器件工艺技术研究开发，光电二级管探测器，硅微条粒
子探测器，及硅探测器与读出电路的单片集成等技术的研究;
陈弘毅：
新电路型式；
从算法到ＶＬＳＩ结构及实现；
ＶＬＳＩ数字信号处理及在多媒体信号处理及信息安全等方
面的应用；
系统的芯片集成技术；
石秉学：
模拟/数字混合集成电路与系统，人工神经网络，模糊逻辑
及其ＶＬＳＩ实现和在模式识别（受写体字符识别和语言识别）
中的应用
周润德：
数字大规模集成电路的设计方法，特别是微处理器和微控制
器设计，ＲＩＳＣ技术和嵌入式微处理器的设计和应用；智能卡技
术，包括卡用芯片的设计和保密算法及其集成电路实现；目前他还
进行有关低功耗低电压集成电路设计方法的研究；
沈延钊：
开关电容滤波器设计与制造；
Ａ/Ｄ变换器设计与制造；
高频模拟集成电路的设计于制造；
靳东明：
新型集成电路与系统研究和设计：
电流形ＣＭＯＳ多值逻辑电路；
模湖逻辑和模糊控制器及其硬件实现；
单体模糊神经网络；
陈志良：
ＭＯＳ运算放大器，开关电容网络，有源滤波器，通信ＶＬＳＩ
和模拟混合ＶＬＳＩ
葛元庆：
ＶＬＳＩ和ＡＳＩＣ设计；
门阵列和标准单元设计方法研究；
微处理器和微控制器研究；
ＩＣ卡的研究；
孙义和：
ＵＬＳＩ/ＶＬＳＩ系统层测试方法学， 包括系统层故障模拟和测
试自动生成，ＵＬＳＩ/ＶＬＳＩ可测性设计， 语言ＡＳＩＣ结构
及其设计
杨之廉：
超大规模集成电路计算机辅助设计与设计方法学研究：
器件模拟；
电路模拟；
器件模型参数提取；
深亚微米器件模型化；
深亚微米电路互连问题；
魏少军：
超大规模集成电路设计方法学研究，主要是数字系统高层综
合技术，深亚微米ＶＬＳＩ设计方法和可靠性设计方法；
通信系统ＡＳＩＣ设计，包括ＡＴＭ/ＳＤＨ中的各种ＡＳＩＣ
设计，大型程控变换机用ＡＳＩＣ设计等；
贾松良：
从事半导体器件和集成电路的可靠性，热设计，封装方面的研究，
以及双极型集成电路的分析和设计
顾祖毅：
非晶态半导体；
器件物理；
朱正涌：
集成电路工艺；
集成电路可靠性研究；
申 明：
ＶＬＳＩ计算机辅助设计，包括版图编辑及验证算法与软件，器件
模型及参数提取方法
四、年经费总收入及来源
“八五”期间，每年平均科研经费收入约800 万元人头费不计入在内)。其中：
“八五”科技攻关经费
约600万
电子部军事预研基金
约 20万
高科技863经费
约5万
攀登计划经费
约 20万
国家基金委重点和面上基金
约 50万
国家教委博士点基金
约 5万
学校科研基金
约 5万
横向协作开发经费
近100万
科研经费收入中除“八五”攻关费中含少量开发费及横向协作费外，80％以
上经费为基础性研究经费。
五、现有设备资产情况
● 清华大学微电子学研究所现有建筑面积约1万平方米。
其中：87年建成的独立科研和工艺试验大楼建筑面积约8千平
方米。
● 大规模集成电路超净工作间面积约3000平方米。
其中：超净级别10级 约 100m2
100～1000级 约1500m2
10000级 约1500m2
● 全所现有固定资产约4000万元人民币。
具有1微米级超大规模集成电路成套工艺、设计、 测试设备及
用于微机械、集成传感器、系统集成研究等专用设备。
其中5万元以上重要的设备约140多台、件。
主要设备有：
(1) 5:1步进式光刻机
(2) 1:1投影式光刻机
(3) 涂胶显影系统
(4) SOG涂胶机
(5) 干法刻蚀机
(6) 刻铝系统
(7) 离子注入机
(8) 磁控溅射台
(9) 自动探测台
(10) 半导体参数测试仪
(11) 氧化扩散及LPCVD系统
(12) 超纯水系统
(13) 扫描电子显微镜
(14) XL-40 IMS测试系统
(15) SUN SPARC和HP9000等工作站 20台
各类微机 100台
六、主要研究方向
微电子科学技术是当代高科技的重要组成部分，是现代信息技
术和国防现代化的基础，涉及电子学、计算机、自动化、光电子学
等尖端科学。可以预言，谁掌握了先进的微电子技术，谁就处于有
利地位，否则就会被动挨打，90年的海湾战争就是一个有力证据。
作为高科技的微电子技术在国民经济各个领域都起着极其重要的作
用。因此优先和快速发展微电子科学技术早已成为各发达国家的基
本国策。我国的微电子科学技术由于起步较晚，加之各相关的基础
工业与技术也较落后，因而造成与世界先进水平有相当大的距离，
为了弥补这一差距，跟上世界先进水平，我国应该集中力量大力发
展微电子科学技术这一重要的高技术领域。
“六五”至“八五”期间清华大学微电子学研究所承担了国家
级重点科技攻关任务、高科技863项目、攀登计划项目、 国家自然
科学基金重点和面上基金项目、电子部军事预研项目等，取得国内
一流的研究成果，研究队伍的实力和水平及学术地位属国内前列，
在国际上也有一定的知名度，目前已形成如下几各主要研究方向：
(1) 超大规模集成电路(VLSI)设计方法与系统集成技术
● 超大规模集成电路系统集成的基础研究
● 模糊逻辑与神经网络集成电路技术研究
● 超大规模集成电路设计方法学研究
● 信息处理系统和多媒体技术的集成化及其专用芯片设计
这方面承担的国家重点任务有国家自然科学重点基金项目、电
子部军事预研项目、“八五”科技攻关项目、列入“九五”科技攻
关项目。
(2) 器件物理与新电路结构、新材料、新器件研究
● SOI深亚微米器件结构、工艺及物理研究
● GeSi材料及其器件研究
● 微电子机械系统研究
● 智能化集成传感器研究
● 低温器件等技术研究
这方面承担的国家重点任务有国家自然科学重点基金项目、科
委攀登计划、“八五”科技攻关项目、列入“九五”科技攻关项目。
(3) 先进集成电路工艺技术研究
● 1～1.5微米CMOS成套工艺技术研究
● 0.3～0.5微米工艺技术研究
● 研究开发新型 IC 工艺技术，包括 BI CMOS、 E2 PROM 、
FLASH／EPROM、数模混合工艺等
这方面承担的国家重点任务有国家自然科学重点基金项目、
“八五”科技攻关项目、列入“九五”科技攻关项目。
(4) 专用集成电路设计开发
包括0.6～0.8微米的兆位级FLASH／EPROM和5 万门门阵列电路
研制；“金卡”工程 E2PROM 电路；工控、通讯用RISC微处理器电
路；各种语音及通讯专用电路等。
这方面承担的国家重点任务有“八五”科技攻关项目、列入
“九五”科技攻关项目。
七、研究所发展情况简介
(1) 基本情况
● 清华大学微电子学研究所是国家重点支持的科研机构， 是
国家微电子北方研究基地的主要组成单位，也是培养高质量微电子
科技人才的场所，是微电子专业唯一的国家重点学科点。所内设有
专门从事基础研究和应用基础研究的器件物理研究室、IC设计研究
室、IC工艺研究室。全国著名半导体物理学家、中科院院士李志坚
教授为学术委员会主任。
● 历年来承担的主要科研项目， 如国家重点科技攻关与各种
国家自然科学基金项目等均属于基础研究和应用基础研究。在国家
资助下，1988 年建成了国内第一条1～1.5微米超大规模集成电路
(VLSI)工艺试验线，90年首次正向设计和研制成功1兆位汉字ROM，
集成度达106万个晶体管，标志着我国的微电子技术跨上了1微米级
新台阶，为打破当时国外封锁和跟踪世界先进水平作出了贡献。目
前已经具备进行CMOS类型、单双层多晶工艺、单双层金属铝工艺及
E2PROM等特殊工艺的研究和加工能力。
(2) 基础性科研成果
● 通过承担国家重点基础研究和科技攻关任务， 取得一系列
高水平的研究成果，历年来共获得国家科技进步二等奖2项、 三等
奖1项；获得国家发明二等奖1项；获得国家教委、电子部、北京市
科技进步一等奖6项、二等奖11项。
●每年在国际和全国性学术会议及一流刊物发表论文50～60篇。
● 对SOI技术和三维集成电路(3DIC)的研究取得新进展，研制
成功国内第一个三维集成电路。
● 在微机械领域取得多项先进水平的研究成果。 率先在国内
研制成多种新型微机械，包括最高转速达14,000转／分钟，实现片
内闭环控制、结构独创的硅微静电马达；可广泛用于弱流体流速测
量的硅微转子流速计及集成微型泵和微麦克风等。
● 相继试制成功具有很高灵敏度的温度、磁场、压力、 触觉
等多种集成传感器(Integrated Sensors)。
● 在模糊逻辑(Fuzzy Logic)、多值乘法器(MVL)、 人工神经
元网络(Neural Network)等系统集成基础研究中已获得一批具有国
际水平的成果。
● 研制成功的硅微条粒子探测器已达到国际先进水平。
● 用于VLSI的红外快速热处理技术(RTP)获得中国和美国专利
五项，并被授予国家发明二等奖，以此项专利技术研制的专用红外
快速热处理设备已被国内广泛应用，并开始销往海外。
● 代表国内微处理器最高水平的32位RISC芯片设计已经完成，
标志着我们已经掌握了32位RISC芯片的设计技术，有能力使用该技
术设计各种专用RISC微处理器。同时有很大市场前景的8位RISC 微
控制芯片已经研制成功，将在家电和工控领域具有广泛的应用。
● 1微米级万门门阵列电路研制成功，此项技术是专用集成电
路技术中的重要组成部分，可以大大加速 ASIC的设计和制造周期，
并降低成本，将在很宽范围内满足国内各种档次专用集成电路的设
计需要。
(3) 人才培养
● 博士生导师7名，拥有优良的实验室和教学基地，研究生培
养与导师的基础性研究课题紧密结合。
本科生专业名称：微电子学(Microelectronics)
研究生专业名称：半导体器件与微电子学
(Semiconductor Device and Microelectronics)
●可授与学位的学位名称
学士学位：微电子学(Microelectronics)
硕士学位: 半导体器件与微电子学
(Semiconductor Device and Microelectronics)
博士学位: 半导体器件与微电子学
(Semiconductor Device and Microelectronics)
● 84～94年微电子各个专业毕业生近800人。
其中：本科生 605人
硕士生 130人
博士生 33人
● 每年招生各类学生情况：
本科生 60人
硕士生 15人
博士生 10人
博士后 2人
●现有在校学生：
本科生 共计：221人（其中双学位3人）
微1 32人
微2 33人
微3 57人
微4 45人
微5 54人
硕士生 共计：36人
硕三 6人
硕四 15人
硕五 15人
博士生 共计：40人
博一 9人
博二 5人
博三 7人
博四 11人
博五 8人
● 毕业生得到用人单位的欢迎，供不应求。
近年来毕业生主要分布：
国内一流大学；
中国科学院专业研究所及国内主要研究机构；
国内主要集成电路工厂和公司；
美国、欧州、日本、新加波、香港等大学、 公司及研究机
构。
(4) 国际交流：
● 微电子所有着广泛的国际交往，每年有数十次、 上百名国
外同行来所参观访问和讲学。我所已接受十多位国外学者来所进修，
微电子专业还陆续招收了11名外国留学生。国际著名专家、美国加
州 Standford University 达顿教授和 UC Berkeley大学葛守仁教
授、胡正明教授为我所的客座教授。
● 我所对外学术交流、技术合作也十分活跃， 每年有十余名
专家参加国际学术会议、出国讲学，并在国外重要学术机构中或国
际学术会议上担任职务，亦常派出专业人员到国外作短期合作研究
或学位进修。
● 目前已与许多国家和地区的大学、研究机构、 公司建立了
科技合作关系，并开展联合培养研究生的工作。
其中包括：
美国：UC Berkeley
Standford University
UCLA
IBM公司
MOTOROLA公司
日本：东京大学
上智大学
东芝公司
德国：固体技术研究所
集成电路研究所
荷兰：Delft大学
芬兰：赫尔辛基大学、高能物理所
香港：香港科技大学
香港城市理工学院
香港大学
澳门：澳门大学
(5) 国内IC骨干企业建立了良好的合作关系，多项技术和产品已实现向产业界
的技术转移，在科技面向经济建设，发展自主技术促进我国集成电路产业进
步方面进行了有益的探索。
清华大学微电子学研究所经过多年建设，已经在基础性研究、应用技术研
究、先进产品的开发和适用技术、产品的工业化转移等方面互相衔接，形成较
为完整的科研体系，为科研机制的进一步改打下了良好的基础。所领导班子思
想解放，努力贯彻“科教兴国”的指导方针，积极探索改革经验，有决心把研
究所建成一个充满活力，具有开放流动，竞争机制的基础性研究基地，为推动
我国微电子技术的发展作出贡献。
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